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更新時間:2026-04-14
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軟件功能特點
NanoSpec軟件
用戶友好的操作界面
支持各種Recipe設定、測量參數設定、數據管理
可選功能擴展: sheet resistance測量、接觸角測量、段差測量
膜厚分布顯示
從測量數據生成膜厚分布圖
面內狀態可視化,膜厚差異以色階顯示
3D Mapping
從測量數據創建3D立體圖像
支持360度旋轉查看
可確認任意點的高度信息

Toho-Tec定制服務
全流程自主制造:從設計到制造、電氣設計、CIM通信設計均在自社完成
靈活定制:可根據客戶需求進行硬件和軟件定制
專業應用支持:經驗豐富的應用工程師提供高精度Recipe作成和驗證服務
應用領域
FPD/LCD生產線:TFT-LCD、OLED的各層薄膜厚度監控
半導體制造:鈍化膜、柵極絕緣膜測量
LED制造:外延層厚度控制
太陽能電池:透明導電膜、減反射膜測量
材料研究:光學常數測定、新材料特性評估
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