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Toho-Tec NanoSpec6500系列 光學膜厚計

更新時間:2026-04-14      瀏覽次數:69

Toho-Tec NanoSpec6500系列 光學膜厚計

產品概述

NanoSpec6500系列是Toho-Tec從Nanometrics公司2005年起承接技術轉移并制造銷售的FPD(平板顯示)專用光學膜厚測量設備 。該系列在全球主要液晶生產工廠擁有超過100臺的導入實績,是FPD行業膜厚測量的標準設備

核心測量原理

光干涉反射率測量法
  • 向樣品垂直照射白色光/紫外線
  • 檢測膜上下界面反射光的干涉光譜
  • 通過分析光譜強度分布計算膜厚值
光譜橢偏儀(SE)擴展
  • 測量入射光與反射光的偏振光變化量
  • 可同時計算光學常數(折射率n和消光系數k) 和膜厚
  • 適用于更廣泛的膜質評估

產品系列與規格對比

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物鏡配置與光斑尺寸

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軟件功能特點 

NanoSpec軟件

用戶友好的操作界面

支持各種Recipe設定、測量參數設定、數據管理

可選功能擴展: sheet resistance測量、接觸角測量、段差測量

膜厚分布顯示

從測量數據生成膜厚分布圖

面內狀態可視化,膜厚差異以色階顯示

3D Mapping

從測量數據創建3D立體圖像

支持360度旋轉查看

可確認任意點的高度信息

抓抓.png


Toho-Tec定制服務 

全流程自主制造:從設計到制造、電氣設計、CIM通信設計均在自社完成

靈活定制:可根據客戶需求進行硬件和軟件定制

專業應用支持:經驗豐富的應用工程師提供高精度Recipe作成和驗證服務

應用領域

FPD/LCD生產線:TFT-LCD、OLED的各層薄膜厚度監控

半導體制造:鈍化膜、柵極絕緣膜測量

LED制造:外延層厚度控制

太陽能電池:透明導電膜、減反射膜測量

材料研究:光學常數測定、新材料特性評估


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