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更新時間：2023-12-22 
瀏覽次數：752結合了GRC/GRP/GRF系列并配備了外圍設備的系列。
可以進行廣泛的定制來滿足您的需求。
| 設備實例1《高濃度多氣體供給臭氧發生器SGRP-03JS》 | |
|---|---|
| 臭氧濃度 | 350克/立方米（牛） |
| 臭氧流量 | 15L/min《5L/min×3線》 |
| 冷卻水溫度 | 20℃±2℃ |
| 外形尺寸 | 寬570mm×深850mm×高1,870mm |
| 重量 | 360公斤 |
| 電源 | AC200V 3相 |
| 設備實例2《無氮高濃度臭氧發生器SGRF-03JA》 | |
|---|---|
| 臭氧濃度 | 400克/立方米（牛） |
| 臭氧流量 | 20升/分鐘 |
| 冷卻水溫度 | 5℃ |
| 外形尺寸 | 寬570mm×深850mm×高1,836mm |
| 重量 | 350公斤 |
| 電源 | AC200V 3相 |
| 特征 |
|---|
| 配備GRC/GRP/GRF系列，可根據客戶需求定制大流量、多供氣等。 |
| 內置臭氧濃度計，實現優異的濃度穩定性（反饋控制） |
| CE/NRTL認證，符合SEMI標準 |
| 燃氣管道可選用氟樹脂和SUS鋼。 |
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